容積ポンプ ローラーベーンポンプ チラー、温度調節機、半導体、化学分野での恒温装置小型 1.4Mps以上の高圧で、水などの媒体を循環可能 圧力は調節可能で安定した流量確保が可能 低騒音、低振動 用途:飲料水自動販売機、水処理装置など