半導体装置

概要

半導体製造では、露光・エッチング・メモリテストなどポンプが使用されている工程も多いですが、スペック社のマグネットポンプもフロリナートやノベックなどのフッ素系媒体を使用したチラー装置の中に数多く搭載されています。半導体装置向けチラー装置では、-100℃に迫る極低温での使用も通常に行われ、その温度下でも使用でき、なおかつ高い圧力を出せる能力、装置のスペースを取らないコンパクトな設計、電力を抑えた省エネ設計、ヨーロッパやアメリカ、中国などの輸出を視野に入れたCE規格・UL規格・GB規格など、ポンプに対する要求も高いのが特徴です。スペック社のPMモーターポンプシリーズはこれらの要求を満たし、半導体装置チラー向けのポンプとして数多く採用されています。

採用理由

・IE4 以上の効率を持つPMモーターを使用しているため、今後の変更申請の手間が省ける

・PMモーターは通常の誘導モーターよりもコンパクトなため、年々スペースが小さくなっているチラー装置にとっては助かる

・CE規格・UL規格が付いているので、SEMI規格を取得するには費用と時間の削減になる。

・マイナス帯(-100℃まで)のフロリナート・ノベック使用に耐えうる。

・必要としている高圧力を出せるマグネットポンプ。周波数変更可能なPMタイプなので省エネもアピールできる。

・脈動を起こさないので、正確な温調装置に適している。

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